NSK展出新開發(fā)的高精度垂直軸平臺(tái)
點(diǎn)擊:1055 日期:2016-01-05
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日本精工株式會(huì)社(以下簡稱NSK)),已于12月16日(星期三)~12月18日(星期五)出展了在Tokyo Big Sight(東京都江東區(qū)有明)舉辦的“SEMICON Japan 2015”展會(huì)。
本次展會(huì),NSK展出了新開發(fā)的高精度垂直軸平臺(tái),該產(chǎn)品可滿足下一代半導(dǎo)體的制造裝置要求。同時(shí),也一并展出市場中廣受好評(píng)的氣浮導(dǎo)軌和真空環(huán)境下使用的定位平臺(tái)。
開發(fā)背景:
隨著智能手機(jī)與平板電腦等終端電子零部件小型化、細(xì)微化、三維化的發(fā)展趨勢,生產(chǎn)設(shè)備也在向高性能化方向發(fā)展,因此,市場對(duì)設(shè)備中使用的定位平臺(tái)提出了高性能、高精度的要求。
迄今,NSK已成功開發(fā)出定位平臺(tái)高性能化所需要的關(guān)鍵零部件。
·“高速·靜音&靜音Ⅱ滾珠絲杠”、“高性能滾珠絲杠”、“帶L1密封圈的滾珠絲杠”
· NSK
直線導(dǎo)軌TM“NH系列”“NS系列”
· 高性能標(biāo)準(zhǔn)軸承“NSKHPS”
高精度垂直軸平臺(tái)的特點(diǎn):
·垂直導(dǎo)向采用空氣軸承,可達(dá)到±0.1μm以下的平直度重復(fù)精度*1
·采用新開發(fā)的自重減輕結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)小型化(50%以下)
·可達(dá)到與ISO規(guī)格中最高等級(jí)1級(jí)相當(dāng)?shù)那鍧嵍?2
·采用楔形結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)垂直方向的高精度定位
*1:0.1μm = 1/10000mm
*2:所謂ISO 等級(jí)1級(jí)是指每立方米中0.1μm的粒子數(shù)量小于10個(gè)
評(píng)論信息