用測(cè)量直線度誤差的方法，按米字布線，先測(cè)出對(duì)角線上各測(cè)點(diǎn)的讀數(shù)，再測(cè)出另一條對(duì)角線上各測(cè)點(diǎn)和其余截面上各測(cè)點(diǎn)的讀數(shù)，并將這些讀數(shù)換算成線值。根據(jù)測(cè)得的讀數(shù)（線值），利用兩條對(duì)角線的交點(diǎn)來(lái)確定符合對(duì)角線法則的理想平面，再按此理想平面求解平面度誤差值。必要時(shí)再進(jìn)一步按最小條件求解誤差值。這種按干涉帶的彎曲度與相鄰兩干涉帶之間的比值，再乘以半波長(zhǎng)即得誤差值。不過(guò)，按此法評(píng)定的誤差實(shí)際上是以直線度誤差代替了平面度誤差。 過(guò)去用平晶只能測(cè)小平面。近年來(lái)有了平晶干涉儀，應(yīng)用這種儀器也可以利用平晶干涉法來(lái)測(cè)量較大的平面。